Институт Проблем Технологии Микроэлектроники и Особочистых Материалов Российской Академии Наук

152025, Ярославская обл., Переславский р-н, Переславль-Залесский г., пл. Менделеева, 2, Территория Славич

141300, Московская обл., Сергиево-Посадский р-н, Сергиев Посад г., Московское ш., 42

Московская обл., Сергиево-Посадский р-н, Сергиев Посад г., ул. Академика Силина, 3