Институт Проблем Технологии Микроэлектроники и Особочистых Материалов Российской Академии Наук

142432, Московская обл., Ногинский р-н, Черноголовка г., просп. Академика Семенова, 1

601655, Владимирская обл., Александровский р-н, Александров, ул. Ленина, 13

Московская обл., Сергиево-Посадский р-н, НИИРП пос.